De Nederlandse halfgeleiderfabrikant ASM International (ASMI) neemt het Amerikaanse Reno Sub-Systems over. Het bedrijf levert systemen en oplossingen op basis van radio frequency (RF)-technologie voor fabricageprocessen op nano-schaal. ASMI gebruikt de technologie voor het nano-fabricageproces van zijn halfgeleiders.

De RF matching sub-systems van Reno Sub-Systems leveren matching-technologie en directe energiecapaciteit voor het vervaardigen van halfgeleiders op 14 nanomillimeter (14 nm)-niveau en minder. De systemen vormen een essentieel onderdeel in het fabricageproces van halfgeleiders, met name de grote wafers waarop de halfgeleiders zich bevinden.

Technologie voor het fabricageproces van halfgeleiders

Bijvoorbeeld het laatste GenMatch-systeem van de leverancier combineert de solid-state Electronic Variable Capacitor (EVC) RF match met Precis generatortechnologie in een enkele unit voor het graferen en afzetten voor 7 nm-processen. Het systeem heeft ongeveer de omvang van een lucifer, waardoor het makkelijk zonder veel ruimte in te nemen op een procestool kan worden geplaatst. Hierdoor gaat het fabricageproces van halfgeleiders sneller, betrouwbaarder en vooral goedkoper.

Het systeem levert op hetzelfde moment ook tussen de 500W en 10 kW aan energie en dit via frequenties tussen de 400 KHz en 60 MHz. Daarnaast zorgen andere technologie├źn ervoor dat het wafer-fabricageproces op een stabiele manier verloopt. AI en machine learnig moeten de prestaties van de machine verder verbeteren.

Integratie in plasma tooling

ASM International wil de technologie en systemen van Reno Sub-Systems gaan inzetten voor zijn op plasma gebaseerde tools voor het maakproces van halfgeleiders. Uiteindelijk moet de nu overgenomen technologie de plasma-producten en -oplossingen van de Nederlandse halfgeleiderfabrikant verbeteren.

Tip: Krijgt Europa een grote chipindustrie door de European Chips Act?