Testen van imec tonen succesvol aan hoe vernieuwend de laatste chipmachines van ASML zijn. Logic- en DRAM-chipstructuren werden succesvol geprint en dat toont dat chips kleiner in omvang en krachtiger kunnen worden dan de beste beschikbare chips op dit moment.
Het Belgische R&D-center voor de chipwereld heeft in recente testen doorbraken bereikt op vlak van grootte en prestaties van chips. Getest werd de nieuwe High-NA EUV-machine van de Nederlandse chipmachinebouwer, ASML. De test was een succes en imec slaagde erin in enkele stappen extreem kleine schakelingen te printen voor chips.
De vernieuwing zit hem in het gebruik van High-NA (Numerical Aperture) dat ultraviolet licht (EUV) nog sterker focust. De techniek halveert de lijntjes op de chip bijna. Het resultaat is een deeltje silicium waarop tientallen miljarden lijntjes van 9,5nm dik werden geëtst, dit ligt nog boven het limiet van de machines van 8nm. Het gaat dan om zowel logic- als DRAM-structuren, wat productie van zowel reken- als geheugenchips mogelijk maakt.
“Hoge NA EUV zal daarom zeer behulpzaam zijn bij het voortzetten van de dimensionele schaalvergroting van logica- en geheugentechnologieën, een van de belangrijkste pijlers om de roadmaps diep in het ‘angstrom-tijdperk’ te duwen”, vertelt Luc Van den hove, CEO van imec.
Commerciële productie
De testen zijn eveneens hoopvol voor commerciële productie. In het testlab maakten de onderzoekers namelijk gebruik van chemicaliën en gereedschappen die commerciële chipfabrikanten inzetten tijdens het proces.
Voor deze machines tellen producenten 350 miljoen euro neer. In ruil krijgen zij dus een tool om de kleinste en snelste chips die momenteel bestaan te produceren. Bovendien geeft de aankoop de mogelijkheid het productieproces te verkorten, waardoor chipfabrikanten op andere zaken kunnen besparen zoals arbeidsuren.
Intel is eerste afnemer
De eerste twee High-NA EUV-machines werden verkocht aan Intel. Eén tool werd reeds in december geleverd, terwijl de tweede momenteel in ontvangst wordt genomen. De installatie van deze machines neemt maanden in beslag, waarna testen en ontwikkeling nodig zijn voordat chipfabrikanten een eigen, unieke chip op schaal kunnen produceren. Vanaf 2027 hoopt Intel de commerciële productie te starten.
Daarnaast zijn er bestelbonnen binnen van Samsung, TSMC, Micron en SK Hynix. De derde machine levert ASML aan TSMC, waarbij Intel-concurrent Nvidia chips laat bakken.
De individuele chipfabrikanten kunnen voor de testen ook terecht bij imec. Dit onderzoeksinstituut opereert onafhankelijk en beschikt over de kennis en middelen voor een ideale testomgeving.
Lees ook: Chipmachines ASML op afstand onklaar te maken in geval van Chinese invasie Taiwan