ASML maakte bij de presentatie van zijn kwartaalresultaten bekend dat het zijn eerste TWINSCAN XT:260 aan een klant leverde. Dit is een lithografiemachine die specifiek is ontwikkeld voor geavanceerde packagingtoepassingen.
De aankondiging kwam tegelijk met de publicatie van de resultaten over het derde kwartaal van 2025, waarin het bedrijf naast financiële cijfers ook nieuwe technologische mijlpalen toelichtte.
De XT:260 is bedoeld voor gebruik in 3D-integratieprocessen, zoals de productie van interposers waarop meerdere chiplets worden samengebracht. De scanner gebruikt i-line-lithografie met een golflengte van 365 nanometer en een resolutie van ongeveer 400 nanometer. De productiesnelheid ligt rond 270 wafers per uur, goed voor tot vier keer hogere productiviteit dan bestaande packagingoplossingen. Daarmee wil ASML de stap verkleinen tussen front-end-lithografie en de back-endprocessen waarin chips worden verbonden en verpakt.
Topman Christophe Fouquet (foto) benadrukte bij de kwartaalpresentatie dat advanced packaging een steeds belangrijker onderdeel wordt van de halfgeleiderketen. Technologieën die ASML in zijn bestaande scanners heeft ontwikkeld, kunnen volgens hem deels worden toegepast in deze nieuwe generatie systemen. Het bedrijf maakte niet bekend aan welke klant het eerste systeem is geleverd.
De XT:260 was al eerder aangekondigd. Tijdens ASML’s Investor Day in november 2024 vertelde Herman Boom, hoofd van de DUV-divisie, dat de machine later in 2025 zou worden verscheept. Hij lichtte toen toe dat het systeem het patroon op de maskers niet viermaal maar tweemaal verkleint, waardoor het een belichtingsveld van 26 bij 33 millimeter kan scannen. Dat grotere veld maakt het systeem geschikt voor packagingtoepassingen, waar vaak grotere oppervlakken worden belicht.
ASML verduurzaamt transport
De ontwikkeling past in een bredere strategie waarin ASML zijn rol uitbreidt richting de back-end van de halfgeleiderproductie. Tegelijkertijd verkent het bedrijf manieren om leveringen duurzamer te maken; de XT:260 is een van de systemen die mogelijk per schip in plaats van per vliegtuig kunnen worden vervoerd. Daarmee vormt de introductie van deze scanner niet alleen een technologische, maar ook een logistieke stap vooruit voor ASML.