Invisix, een spinout van ASML, heeft twintig miljoen euro opgehaald om chips te kunnen inspecteren op een voorheen niet te behalen detailniveau. De Eindhovense startup gebruikt ‘zachte’ röntgenstraling om 3D-structuren in chips te meten die voor optische tools onzichtbaar zijn geworden. Daarmee wil het een nijpend yield-probleem in de chipindustrie oplossen.
De ronde trok investeerders als Hitachi Ventures, imec.xpand, Transition Ventures en Doosan Investment. Ook een anonieme tier-1-chipfabrikant deed mee. Eerdere berichtgeving wees op Samsung, dat Invisix’s technologie wil inzetten voor verbeterde yields op zijn 2nm-proces. Die opbrengsten zijn van kritiek belang om de marges te verhogen voor onder meer HBM-geheugen, dat vanuit Samsung-fabrieken voor AI-chips van Nvidia, AMD en hyperscalers gebruikt wordt.
Invisix wil met de 20 miljoen euro zijn team versterken en een eerste systeem voor productie te bouwen. Klantdemonstraties vanuit een nieuwe cleanroom in Eindhoven dienen de verdere groei mogelijk te maken.
Optische tools zien niet meer genoeg
Het probleem dat Invisix aanpakt, is dat huidige meetinstrumenten de piepkleine schaal van chips niet volledig kunnen behappen. Hierdoor zijn tot nu toe onmeetbare imperfecties ongedetecteerd totdat de wafer, het stuk silicium waarop chips worden vervaardigd, al is opgedeeld.
Een kleinere golflengte dan die van de huidige meetapparatuur moet kleinere structuren zien te inspecteren. Overigens is het niet alleen de kleine schaal, maar ook de complexe 3D-structuur die het meetinstrumenten moeilijk maakt. Gelaagde systemen met zeer precieze ontwerpen hebben een nieuwe meetmethode nodig.
Het Invisix-systeem maakt gebruik van high-harmonic generation, de techniek waarmee een kortpulslaser edelgasatomen opwekt tot ze zachte röntgenstraling uitstralen. Die straling combineert Invisix met reconstructie-algoritmen en machine learning om een 3D-beeld van een chip te reconstrueren. De achterliggende fysica werd erkend met de Nobelprijs Natuurkunde 2023.
Tien jaar ASML-onderzoek als basis
Opvallend voor een seed-bedrijf is hoeveel risico al is weggenomen. Net als dat ASML ooit een ontwikkelproject is geweest met Philips als bron van herkomst, is Invisix debet aan ASML. Zo heeft het een omvangrijk pakket aan zachte röntgentechnologie gelicenseerd dat meer dan tien jaar lang binnen ASML werd ontwikkeld. CEO Christina Porter en CTO Sietse van der Post, beiden afgestudeerde fysici en voormalige ASML’ers, leiden het bedrijf. De techniek werd al in 2023 gedemonstreerd samen met Intel en imec, waarbij metingen werden verricht aan gate-all-around-transistoren.
Volgens Bits&Chips kan het systeem meer dan vier keer zoveel parameters tegelijk meten als gangbare optische scatterometrie, wat het met name geschikt maakt voor de meest complexe 3D-structuren. Dat positioneert Invisix op een segment waar bestaande metrologietools het laten afweten en de druk van AI-gedreven chipvraag het hoogst is.
Lees ook: Hoe ASML de spil van de chipwereld werd