Nearfield Instruments, een TNO spin-off uit Delft, heeft twee investeerders gevonden voor de ontwikkeling van zijn ultra snelle high-throughput Atomic Force Microscopy (HT-AFM) systeem voor metrologie van geavanceerde Integrated Circuits (IC’s). Daarmee kan bestaande AFM tot wel duizend keer zo snel gemaakt worden als voorheen.
Daarmee is de oplossing van AFM van groot belang voor de halfgeleiderindustrie en dat verklaart ook waarom de Samsung Venture Investment Corporation en Innovation Industries, een Nederlands investeringsfonds voor hightech innovaties in Nederland, samen 10 miljoen euro investeren. Nearfield Instruments is een spin-off van de Nederlandse Organisatie voor toegepast-natuurwetenschappelijk onderzoek TNO. TNO blijft aandeelhouder in Nearfield Instruments.
Alles moet kleiner
De ontwikkeling van Nearfield Instruments is van groot belang voor de ontwikkeling van steeds krachtigere en zuinigere elektronica. Alles moet alsmaar kleiner, omdat er steeds meer van mobiele apparaten en computersystemen gevraagd wordt. Tegelijk wordt de ruimte die beschikbaar is voor schakelingen en IC’s niet bepaald groter. Materiaal moet dus steeds kleiner gemaakt kunnen worden en op atomaire schaal geplaatst worden.
Doorbraken in metrologieprocessen en apparatuur voor IC-ontwikkeling en -productie zijn dan ook noodzakelijknoodzakelijk. Zonder deze doorbraken zou de Wet van Moore tot een einde komen. De Wet van Moore is de observatie dat het aantal transistors in IC’s ongeveer elke twee jaar verdubbelt.
High Throughput Atomic Force Microscopy
Om dat verdubbelen van het aantal transistors mogelijk te maken, komt de technologie van Nearfield Instruments kijken. Een AFM-systeem bestaat uit een atoomscherpe punt die het oppervlak van een object kan scannen, zonder het aan te raken en om het patroon dat zich op dat object bevindt te herkennen. AFM werd altijd als te langzaam beschouwd voor industriële toepassingen.
Maar de ontwikkeling van het programma waarin de HT-AFM technologie ontwikkeld werd, brengt daar verandering in. Binnen de TNO spin-off werd er vijf jaar aan de ontwikkeling hiervan gewerkt. Al die tijd en energie heeft er uiteindelijk toe kunnen leiden dat AFM tot 1000x sneller kan worden gemaakt dan de traditionele AFM -technologie. Daarmee is het een waardevolle ontwikkeling, die ook verklaart waarom een bedrijf als Samsung bereid is er geld in te steken.
12 uur geleden
