2min

Tags in dit artikel

, , , ,

Intel heeft zijn eerste ASML EUV-lithografiesysteem voor hoogwaardige chipfabricage in een nieuwe fabriek in Ierland geïnstalleerd. Hiermee kan de chipgigant kleinere chipcircuits op een wafer produceren.

De komst van het EUV-lithografiesysteem naar Ierland moet het mogelijk maken dat de nieuwe generatie chipsets op basis van de Intel 4-procestechnologie ook in Europa kunnen worden geproduceerd. Intel en ASML werken al lang samen aan de ontwikkeling van geavanceerde halfgeleiderlithografietechnologie. De Ierse Intel-productielocatie Fab 34 wordt de eerste fabriek buiten de Technology Development-faciliteit van de chipfabrikant in Oregon in de Verenigde Staten waar de nieuwe EUV-technologie wordt gebruikt.

Complexe machine

De EUV-machines van ASML zijn zo complex en omvangrijk dat Intel de Ierse Fab 34-frabiek speciaal voor deze machine heeft moeten bouwen en onder meer de hoogte heeft moeten aanpassen. Het bouwen en voorbereiden van de fabriek op de komst van de machine kostte maar liefst 18 maanden.

Het EUV-systeem van ASML bestaat uit 100.000 onderdelen, 3.000 kabels, 40.000 bouten en meer dan een kilometer slangenstelsel. Het systeem heeft daarnaast ongeveer 700 aansluitpunten voor de elektrische, mechanische, chemische en gasvoorzieningen. Het overspant vier niveaus van de fabriek, van de kelder, via de subfab, de fabriek en met een ingebouwde kraan die tot in het plafond reikt.

De hele machine is in vier B747-vrachtvliegtuigen van Oregon naar Ierland gevlogen. Inmiddels begeleiden 100 specialisten van ASML de installatie.

EUV-lithografie

Lithografiescanners vormen een onderdeel van het chipproductieproces waarbij de microarchitectuur van elke afzonderlijke chip op een siliciumwafer wordt ‘afgedrukt’. Hierbij wordt een ontwerpsjabloon gescand. Dit beeld wordt overgebracht op de siliciumwafer die vervolgens wordt opgebouwd.

Met EUV-lithografie kunnen meer transistors op een chip worden gezet, zodat deze zeer dichte chips makkelijker in groten getale kunnen worden geproduceerd tegen lagere kosten. Hoe meer transistors in een chip kunnen worden gestopt, hoe meer rekenkracht zij hebben, betere prestaties afleveren en minder energie verbruiken. Dit betekent ook dat deze zeer geavanceerde chips meer toepassingen kennen.